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日中中日半导体制造技术用语词典
林少霖 编
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| 出版社：上海大学出版社 |
| 出版年：2011年06月 |
| コード：349582 382p 19cm ISBN/ISSN 9787811187731 |
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本書は、半導体の製造工芸及び外観検験・性能検験に関係する半導体設計・材料・珪氧化・光刻刻蝕・拡散離子注入・摻雑・晶体生長・曝光・光刻膠・塗膠顕影・気相沉積・晶片清洗・切割・研磨・芯片熱処理・濺射・鍵合・封装・印刷などの分野の語彙3,500余を収録する。
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